晶圓厚度測量系統-鉑悅儀器（上海）有限公司

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晶圓厚度測量系統

更新時間：2020-08-12

產品品牌：Frontier Semiconductor

產品型號：FSM 413 EC

產品描述：FSM413回波探頭傳感器使用紅外（IR）干涉測量技術。

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非接觸式厚度測量，可以測量背面研磨減薄和刻蝕后的薄晶圓，也可測量粘附在藍膜或者其他載體上的有圖形或凸起的晶圓，可應用于堆疊芯片和微機電系統。

優勢：
FSM413回波探頭傳感器使用紅外（IR）干涉測量技術，可以直接和測量從厚到薄的晶圓襯底厚度變化和總體厚度變化。配置單探頭系統，可以測量一些對紅外線透明的材料，例如Si, GaAs, InP, SiC, 玻璃，石英和一些聚合物，還可以測量常規有圖形、有膠帶、凸起或者鍵合在載體上晶圓的襯底厚度。配置雙探頭系統時，還提供晶圓整體厚度測量（包括襯底厚度和在光不能穿透的情況下的圖形高度厚度)。選配功能可以測量溝槽深度和通孔深度（包括微機電中的高深寬比的溝槽和通孔）。另外微機電應用中薄膜厚度測量和凸塊高度測量也可以選配。

基于FSM Echoprobe紅外線干涉測量技術，提供非接觸式芯片厚度和深度測量方法。

Echoprobe技術利用紅外光束探測晶圓。
Echoprobe可用于測量多晶硅、藍寶石、其它復合物半導體，例如GaAs, InP, GaP, GaN 等。
對晶圓圖形襯底切割面進行直接測量。

行業應用：

主要應用在研磨芯片厚度控制、芯片后段封裝、TSV(硅通孔技術)、(MEMS)微機電系統、側壁角度測量等。
針對LED行業, 可用作檢測藍寶石或碳化硅片厚度及TTV

其它應用：
· 溝槽深度測量
·  表面粗糙度測量
·  薄膜厚度測量
·  環氧厚度測量

Echoprobe™ 回波探頭技術可提供對薄晶圓（<100um）的襯底厚度或粘結結構上的薄襯底進行直接和測量。